一種新型的電容式角度位移測(cè)量?jī)x

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關(guān)鍵詞 角度;位移;電容式傳感器;差動(dòng)電容

電容式測(cè)量?jī)x是將被測(cè)量（如尺寸、壓力等）的變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的一種儀器。把被測(cè)的機(jī)械量，如位移、壓力等轉(zhuǎn)換為電容量變化。它的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、分辨率高、動(dòng)態(tài)特性好，而且能在高溫、強(qiáng)烈振動(dòng)等條件下工作。電容式測(cè)量?jī)x的輸出電容值一般十分微小，因此測(cè)量?jī)x選擇借助差動(dòng)脈寬電路，對(duì)于電容值進(jìn)行測(cè)量，將微小角度位移變化引起的電容值成比例地轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)[1-5]。（剩余795字）