邁克耳孫干涉儀中動鏡微小位移量的測量方法研究

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關鍵詞 邁克耳孫干涉儀;微小位移;圖像處理;干涉測量術;白光干涉

在很多領域，常涉及諸如微小位移、微小伸長量等這一類參量的測量問題，如壓電陶瓷在加端電壓下的微小伸展、物體在溫度變化下的微小伸縮、透明薄膜的微小厚度等。一般地，測量這類幾何量的方法主要有光杠桿法[1-3]光干涉法[4-8]，其中，光杠桿法采用的是放大測量法，即將被測的微小量先放大為一個宏觀量，進而通過測出放大后的宏觀量由此達到測量微小量或微小變化量的目的，而光干涉法則是國內外常用的高精度測量法，它通過引入干涉技術從而測出被測的物理量。（剩余2071字）