高精度微球半徑測(cè)量模型及圓度評(píng)定方法比較

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摘要：

提出了一種基于回轉(zhuǎn)軸法和兩點(diǎn)法原理的高精度微球半徑測(cè)量模型，實(shí)現(xiàn)了基于半徑變化量的微球圓度評(píng)定。建立了可以分離主軸跳動(dòng)誤差和計(jì)算各測(cè)量點(diǎn)對(duì)應(yīng)半徑的模型。利用團(tuán)隊(duì)開發(fā)的基于高精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)和兩個(gè)邁克爾遜干涉儀的微球圓度測(cè)量系統(tǒng)，對(duì)標(biāo)稱直徑為300 μm、圓度為250 nm的紅寶石球的赤道圓截面進(jìn)行了掃描測(cè)量。（剩余11965字）