c</sub>?1K ）、較高動態(tài)電感 (L<sub>s</sub>) 10pH/? )的超導(dǎo)材料，有望制備對近紅外光子敏感，且具有高品質(zhì)因數(shù)（ (Q<sub>i</sub>) 的探測器.本文使用磁控濺射的方式制備了Hf薄膜，為表征其低溫特性，制備了一種基于Hf薄膜的1/4波長共面波導(dǎo)型諧振器，對其表面薄膜特性、諧振器諧振頻率與功率、溫度的相關(guān)性及動態(tài)進行了詳細的實驗測試研究，并給出測試結(jié)果,所制備出的Hf薄膜 T<sub>c</sub> 大小為 356mK,L<sub>s</sub> 為 20.5pH/?,Q<sub>i</sub> 可達 2.6×10<sup>3</sup> -龍源期刊網(wǎng)" />

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磁控濺射Hf薄膜的低溫超導(dǎo)特性及共面波導(dǎo)諧振器研究

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中圖分類號：P111 文獻標(biāo)志碼：A 文章編號：1000-5137（2025）04-0417-07

Abstract：Hafnium（Hf），asoneof the few curently available elemental metals with low critical temperatu（剩余6771字）

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