低溫微磨料氣射流加工的硬脆材料耐沖蝕性能對(duì)比

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摘要 低溫微磨料氣射流加工硬脆材料時(shí)，其變脆易被沖蝕去除。對(duì)碳化硅（SiC）、氮化硅（Si3N4）、釔穩(wěn)定氧化鋯（YSZ）、99氧化鋁（99 Al2O3）、石英玻璃5種硬脆材料進(jìn)行低溫微磨料氣射流加工對(duì)比實(shí)驗(yàn)，探究加工壓力、沖擊加工角度及加工次數(shù)等工藝參數(shù)對(duì)5種硬脆材料的沖蝕去除率、低溫沖蝕槽三維形貌及表面輪廓的影響，優(yōu)選出低溫下耐沖蝕性能良好的硬脆材料。（剩余17243字）