0.5μm</sub>/N<sub>0.3μm</sub> 范圍在 8% 至 11% ；發(fā)生 0.6μm 粒子時， N<sub>0.5μm</sub>/N<sub>0.3μm</sub> 范圍在 82.5% 至88% .符合JJF1190-2008標(biāo)準(zhǔn)要求.-龍源期刊網(wǎng)" />

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28.3L/min激光塵埃粒子計數(shù)傳感器的研制

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中圖分類號 TP212 文獻標(biāo)識碼 A

0 引言

激光塵埃粒子計數(shù)傳感器能夠準(zhǔn)確檢測空氣中塵埃微粒的粒徑和數(shù)量，已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、食品和制藥等行業(yè)[1-2.該類傳感器的光源經(jīng)歷了從白光到半導(dǎo)體激光二極管的發(fā)展過程，探測器也由光電倍增管逐步改進為光電二極管.這些技術(shù)進步顯著提高了傳感器的性能，（剩余10154字）

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