用于干涉計算成像的硅交叉混頻器設(shè)計

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摘要：基于絕緣體上硅平臺，設(shè)計并制作了一種用于光學(xué)干涉計算成像的硅交叉混頻器，利用時域有限差分法對多模干涉耦合器和整個器件的結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化仿真。仿真結(jié)果表明，輸出端口具有良好的透過率。通過光刻工藝制備芯片并進(jìn)行封裝后，采用外加電壓的方式對混頻器的性能進(jìn)行表征。測試結(jié)果表明：在1 551.8 nm的工作波長下，施加電壓后，輸出光功率與電壓呈正弦函數(shù)關(guān)系，驗證了混頻器中的干涉相長和干涉相消現(xiàn)象；使得兩路輸出端口發(fā)生π相位變化的電壓為2 V，電壓調(diào)控π相位偏轉(zhuǎn)精度分別為0.991π和1.007π，計算可得相位偏差為0.79°。（剩余12448字）