TOPCon太陽(yáng)電池LPCVD技術(shù)路線下的EL黑邊、黑角改善研究

打開(kāi)文本圖片集

摘 要：EL黑邊、黑角是TOPCon太陽(yáng)電池采用LPCVD技術(shù)路線時(shí)遇到的重點(diǎn)和難點(diǎn)問(wèn)題，其不僅會(huì)導(dǎo)致光電轉(zhuǎn)換效率和良品率下降，還會(huì)使太陽(yáng)電池內(nèi)出現(xiàn)EL圖像明暗不均的問(wèn)題。為了改善EL黑邊、黑角問(wèn)題，對(duì)TOPCon太陽(yáng)電池采用LPCVD技術(shù)路線時(shí)的EL黑邊、黑角問(wèn)題進(jìn)行了分析和改善研究。研究結(jié)果表明：TOPCon太陽(yáng)電池生產(chǎn)線上出現(xiàn)的EL黑邊、黑角問(wèn)題主要是由LPCVD設(shè)備內(nèi)首舟的氣場(chǎng)與堿拋?zhàn)匀谎趸瘜硬痪鶆虔B加導(dǎo)致。（剩余8739字）