表面效應(yīng)對(duì)納米開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu)線性彎曲行為的影響

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摘 要：納米開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu)是納米機(jī)電系統(tǒng)中的重要控制元件，基于表面能的模型引入表面效應(yīng)，分析了表面效應(yīng)和分子間作用力同時(shí)對(duì)納米開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu)線性彎曲行為的影響。對(duì)應(yīng)變能與表面能進(jìn)行變分，并通過(guò)最小勢(shì)能原理，推導(dǎo)出納米開(kāi)關(guān)的控制方程以及邊界條件，并運(yùn)用同倫攝動(dòng)法來(lái)求解該非線性微分方程。通過(guò)計(jì)算結(jié)果具體分析了不同邊界條件下納米開(kāi)關(guān)在考慮表面效應(yīng)和Casimir力作用下表面效應(yīng)對(duì)納米開(kāi)關(guān)彎曲變形、吸合電壓的影響。（剩余12030字）