鈮酸鋰晶體超精密加工技術(shù)研究進(jìn)展

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摘要 鈮酸鋰（LiNbO 3 ）晶體光電特性優(yōu)異，是制造光學(xué)調(diào)制器、頻率倍增器、濾波器等光電子器件的首選材料，在 5G 無線通信、微納/集成光子學(xué)和人工智能等前沿領(lǐng)域具有巨大應(yīng)用價(jià)值。然而，鈮酸鋰晶體硬度低、脆性大、各向異性強(qiáng)，大尺寸高品質(zhì)晶體的制備方法及其高效高質(zhì)低/無損傷的超精密加工技術(shù)是實(shí)現(xiàn)鈮酸鋰晶體器件廣泛應(yīng)用的重要瓶頸。（剩余45901字）