研磨壓力對(duì)聚晶金剛石表面質(zhì)量的影響

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摘要 使用金剛石平磨盤對(duì)聚晶金剛石（polycrystalline diamond，PCD）復(fù)合片的金剛石層進(jìn)行高速研磨實(shí)驗(yàn)，研究研磨壓力對(duì)PCD研磨去除率、表面粗糙度和表面形貌的影響。結(jié)果表明：當(dāng)研磨壓力為0.10～0.18MPa時(shí)，隨著研磨壓力的增大，PCD的研磨去除率增大，表面粗糙度減小。PCD研磨表面缺陷主要包括沿晶破碎、微小凹坑、機(jī)械劃痕、微裂紋等，且隨著研磨壓力增大，研磨表面平滑面積擴(kuò)大，機(jī)械劃痕變小。（剩余11649字）